JENAMA & MODEL | BALZERS/PLS 570 |
LOKASI ALAT: | Makmal 1104, Paras 1, Bangunan Fizik |
PENGENALAN ALAT: | Komponen utama Sistem Penyejatan Vakum Alur Elektron adalah pembekal kuasa, kebuk vakum, senapang elektron dan unit kawalan. Pembekal kuasa membekalkan voltan tinggi (0-6kV) kepada senapang elektron untuk memecutkan elektron dari katod K ke anod A. Senapang elektron merupakan komponen penting yang terdiri dari katod (K), anod (A), pelindung Wehnelt (W) dan mangkuk pijar. Elektron yang dihasilkan daripada katod K dipecut ke anod A dan dipesong ~270ºC oleh medan magnet yang dihasilkan oleh gegelung (S) seterusnya memasuki mangkuk pijar. Bahan saduran yang diletakkan dalam mangkuk akan cair pada suhu didih bertukar kepada bentuk wap yang bergerak ke atas dan termendap pada substrat dalam kebuk vakum. |
KEGUNAAN ALAT: | Membuat lapisan filem nipis |
KEADAAN SAMPEL: | |
JUMLAH MINIMA SAMPEL DIPERLUKAN: | |
KEPERLUAN KHUSUS SAMPEL: | |
TEMPOH ANALISIS: | |
KEUPAYAAN ANALISIS DILAKUKAN SEHARI: | |
KOS ANALISIS: | |
WAKTU OPERASI: | Sila berjumpa dengan operator berkenaan. |
PENYELARAS ALAT: |
Dr. Mohamad Hafizzudin b Hj Jumali Email: hafizhj@ukm.edu.my |
OPERATOR ALAT: |
Tn. Hj. Mohd Lahudi Bin Saruri Email: lahudi@ukm.edu.my |