Magnetron Sputering System

JENAMA & MODEL K.J Lesker PVD 75
LOKASI ALAT: L115, Bangunan Sains Fizik
PENGENALAN ALAT: Magnetron Sputering SystemAlat penyelidikan ini digunakan secara meluas dalam industri semikonduktor untuk mendapan filem nipis (thin film) dalam pemprosesan litar bersepadu selain digunakan dalam tujuan bidang penyelidikan. Sputtering bermaksud memercikkan sesuatu bahan daripada sasaran kepada substrat seperti wafer silikon dan slaid kaca. Sasaran merupakan sumber bahan yang hendak dimendap­kan ke atas substrat. Contoh bahan yang lazimnya digunakan sebagai sasaran ialah bahan logam sep­erti aluminium, kromium, emas, perak dan kuprum serta bukan logam seperti zink oksida, timah oksida, karbon dan sebagainya.
KEGUNAAN ALAT:
KEADAAN SAMPEL:
JUMLAH MINIMA SAMPEL DIPERLUKAN:
KEPERLUAN KHUSUS SAMPEL:
TEMPOH ANALISIS:
KEUPAYAAN ANALISIS DILAKUKAN SEHARI:
KOS ANALISIS:
STATUS KOS (RM)/penggunaan CATATAN
KAKITANGAN/ PELAJAR UKM

  1. Luar PPFG (FST)
  2. Luar Fakulti
 

50.00

80.00

BADAN KERAJAAN/ BERKANUN 100.00 + CBP 6%
PELAJAR LUAR UKM/SWASTA 100.00 + CBP 6%
WAKTU OPERASI: Sila berjumpa dengan operator berkenaan
PENYELARAS ALAT: Prof. Madya Dr. Mohamad Hafizzudin Hj. Jumali
Email: hafizhj@ukm.edu.my
No Tel: 03-89215895
No Bilik: 1129F,Bangunan Sains Fizik PPF
PEGAWAI SAINS KANAN:

 

 

 

 

OPERATOR:

Idris bin Zulkifle

Email: idris@ukm.edu.my
No Tel: 03-89214783
No Bilik: 1106

 

 

 

Tuan Hj. Mohd Lahudi Saruri
Email: lahudi@ukm.edu.my
No Tel: 03-89213846
No Bilik: Aras 1 ,Bangunan Sains Fizik PPFG